熱絲式流量傳感器式通過氣體流過時熱絲式的溫度變化量轉換為流量進行檢測，熱量控制系統增加電流保持熱絲恒定溫度，氣體流速與電流產生量成比例，流量和電流是非線性關系；線性化的實現通過微處理器及軟件進行，以便產生可重復性流速的分布。熱絲式電橋的一段，流量變化時熱絲的溫度、阻抗和電流變化，橋路不平衡，輸出電壓變化換算出流量。

德爾格EVITA和SAVINA都是熱絲式流量傳感器。具體的工作原理為呼吸氣體沿著測量管，通過很細的鉑金絲。鉑金絲被加熱到180℃，并在此溫度下保持閉環控制系統。如果氣體流過去，鉑金絲熱量被帶走。每單位時間，散熱越高，氣體體積越大。